無塵車間 無塵室五大優(yōu)點
無塵室有五個特性 :
1.耐久性:
無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質。
2.清洗:
在制藥和生物工學工業(yè),無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性病毒或細菌的污染之特性。
3.成本:
微電子建設費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來,產品也就能更快達到這市場。 許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 "錢" 將成為一個很重要的考慮因素。
4.適應性:
一些廠商認為適應性可節(jié)省一筆金錢,而適應性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招大的損失。
5. 維護性:
對無塵室而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。至于維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優(yōu)先級。在應用力面,天花板、地板及墻壁三者之中zui重要的為天花板,其包含 HEPA 及 ULPA 等濾網,其可過濾掉房間的微粒子,且其常會因各個不同的需要,便其分開來,供應各個不同區(qū)域的小房間,曾有人說 :若建造之預算因某種原因被限制,除了少數(shù)的小錢外,其天花板將趨于更貴的地步,其實天花板是一個頗復雜的系統(tǒng)其必須嚴格地過濾粒子,故其設計必須。
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